小型氧化亞硅氣相沉積實(shí)驗(yàn)真空爐

應(yīng)用領(lǐng)域：動(dòng)力電池負(fù)極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）

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小型氧化亞硅氣象沉積真空爐

產(chǎn)品描述

商品名稱: 小型氧化亞硅氣相沉積實(shí)驗(yàn)真空爐
商品編號(hào): 1096144086734884864

應(yīng)用領(lǐng)域：動(dòng)力電池負(fù)極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）

1．產(chǎn)品名稱：小型氧化亞硅氣象沉積真空爐

2．應(yīng)用領(lǐng)域：動(dòng)力電池負(fù)極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）

型號(hào)	裝料尺寸	裝載量	工作溫度	極限溫度	真空度	總功率	氣氛類別	工序時(shí)長(zhǎng)
MGB15-85HH	Φ150 * 850	0.12M³	1350°C	1600℃	0.1* 0.5pa	35KW	Ar/N2	16H/爐

3. 工藝特點(diǎn)：三溫區(qū)設(shè)計(jì)，陶瓷內(nèi)膽，溫差控制精度3°C，高溫高真空；具備脫水、混煉反應(yīng)、提純等工藝能力。反應(yīng)充分，成品率高（約70-80%）

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真空爐是一種在加工過(guò)程中將爐內(nèi)產(chǎn)品置于真空環(huán)境中的爐。由于沒(méi)有空氣或其他氣體，因此可以防止氧化，防止產(chǎn)品因?qū)α鞫鴵p失熱量，并消除污染源。

真空爐結(jié)構(gòu)

真空爐是指在爐室特定的空間內(nèi)，利用真空系統(tǒng)(由真空泵、真空測(cè)量裝置、真空閥門等組成)抽除爐室內(nèi)的空氣，使?fàn)t室內(nèi)的壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐室內(nèi)的空間實(shí)現(xiàn)真空，然后對(duì)工件進(jìn)行加熱。真空爐由爐體、真空系統(tǒng)、加熱元件、控溫系統(tǒng)、熱工儀表等部件組成。爐體通常采用不銹鋼或其他合金材料，具有較強(qiáng)的抗腐蝕性和耐高溫性。真空系統(tǒng)主要由機(jī)械泵、分子泵、渦流泵、真空閥門等組成，可達(dá)到較高的真空度。加熱元件一般采用電阻絲、石墨等材料，可對(duì)樣品進(jìn)行快速、均勻的高溫加熱。控溫系統(tǒng)主要由溫度計(jì)、控制器、電源等組成，可實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱過(guò)程的精確控制。

真空爐腔

真空爐爐腔主要分為不銹鋼爐腔、陶瓷纖維爐腔、鉬箔爐腔、石墨爐腔，最高溫度范圍為750℃至2200℃。

真空爐加熱元件

真空爐加熱元件主要分為電阻絲、硅碳棒、鉬絲棒、硅鉬棒、石墨、感應(yīng)線圈等，最高溫度范圍為750℃~2200℃。

溫控系統(tǒng)

真空爐溫控系統(tǒng)主要由熱電偶(測(cè)溫)和溫控儀(控溫)組成，主要分為PID可編程控制、觸摸屏控制、PLC全自動(dòng)控制。

真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)根據(jù)所需真空度由真空閥門、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、羅茨泵等組成，最高真空度一般為7×10-3Pa。

水冷系統(tǒng)

根據(jù)爐室的大小，需要配套的水冷系統(tǒng)，以保證真空爐能正常工作。

密封爐殼

爐殼必須密封良好，以保證達(dá)到設(shè)計(jì)的真空度。